Đầu dò áp suất 627B-15789 627B15789 MKS

Đầu dò áp suất 627B-15789 627B15789 MKS

Thông tin chi tiết sản phẩm

Đặc trưng

Nhiệt độ hoạt động của cảm biến 150 ° C & 160 ° C

Cảm biến điện dung All-Inconel

Đánh giá quá áp cao 45 psia để cải thiện độ ổn định và độ lặp lại

Thiết kế nhỏ gọn phù hợp với không gian nhỏ

Rơle quá trình trạng thái rắn gắn bên trong để kiểm soát bên ngoài

Hiệu suất dài hạn trong nitride CVD & etch kim loại

Thông số kỹ thuật

Loại: Đầu dò áp suất

Loại cảm biến: Áp kế điện dung

Loại đo lường: Tuyệt đối

Phạm vi áp suất toàn thang: 1, 2, 3, 5, 10, 20, 100, 1000 Torr

Phạm vi toàn thang đo: 0,01% của Toàn thang đo

Nhiệt độ cảm biến: Được kiểm soát đến 150 ° C hoặc 160 ° C

Độ chính xác: 0,25% số đọc

Giao thức truyền thông: EtherCAT®

Đầu ra tương tự: 0 đến 10 VDC vào tải> 10 ohm

Đầu nối tương tự: 15-pin D-subminftime

Rơle chuyến đi: Hai rơle áp suất quá trình gắn bên trong có thể điều chỉnh độc lập từ 0,5% đến 100% phạm vi toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ bằng không: 150 ° C Phiên bản: 0,004% FS / ° C (0,008% Full Scale / ° C cho 1 phạm vi) 160 ° C Phiên bản: 0,008% FS / ° C (0,016% Full Scale / ° C cho 1 Torr phạm vi)

Hệ số nhiệt độ Span: 0,02% đọc / ° C

Thời gian đáp ứng: 50 msec

Thời gian khởi động: 4 giờ

Khối lượng nội bộ: 6,3 cc

Nhiệt độ hoạt động xung quanh: 15 ° đến 50 ° C

Giới hạn quá áp: 45 psia

Yêu cầu về nguồn: +24 VDC hoặc ± 15 VDC, 1 amp khi khởi động

Giới thiệu về MKS

Công nghệ của chúng tôi cho phép các đối tác của Công cụ MKS tương lai với khách hàng trong giám sát môi trường, quốc phòng và an ninh, khoa học đời sống & nghiên cứu, sản xuất công nghiệp và công nghiệp màng mỏng để phát triển các giải pháp đột phá cho những thách thức công nghệ khó khăn nhất của họ.

Công việc của chúng tôi cho phép khách hàng của chúng tôi thành công hơn và xã hội của chúng tôi an toàn hơn và năng suất hơn.

MKS Instruments, Inc is the worldwide leader in technology solutions for the markets we serve. MKS Cụ, Inc là công ty hàng đầu thế giới về các giải pháp công nghệ cho các thị trường mà chúng tôi phục vụ. We make the instruments, subsystems and process control solutions that enable our customers to measure, control, power, monitor and analyze the critical parameters of the advanced processes that they manage. Chúng tôi tạo ra các công cụ, hệ thống con và giải pháp kiểm soát quy trình cho phép khách hàng của chúng tôi đo lường, kiểm soát, cấp nguồn, giám sát và phân tích các tham số quan trọng của các quy trình nâng cao mà họ quản lý.

Cơ hội rất cao mà bạn sở hữu hoặc đã tiêu thụ một sản phẩm đã được thực hiện bởi công nghệ của chúng tôi.

Our people are world-class problem-solvers, operating at the leading edge of science, engineering and technology. Nhân dân của chúng tôi là những người giải quyết vấn đề tầm cỡ thế giới, hoạt động ở lĩnh vực khoa học, kỹ thuật và công nghệ hàng đầu. We have a proud history of industry-changing innovation and we back it up with a global support infrastructure that ensures we are there for you throughout the life cycle of our solutions. Chúng tôi có một lịch sử đáng tự hào về sự đổi mới thay đổi ngành công nghiệp và chúng tôi sao lưu nó với cơ sở hạ tầng hỗ trợ toàn cầu để đảm bảo chúng tôi luôn ở bên bạn trong suốt vòng đời của các giải pháp của chúng tôi.

Nhiều sản phẩm hơn

Liên hệ chúng tôi

miya@mvme.cn(Nhấp chuột)

Email: miya@mvme.cn

QQ: 2851195450

Điện thoại: 86-18020776792

Skype: miyazheng52