|
| Nguồn gốc | Hoa Kỳ |
| Hàng hiệu | ASM |
| Chứng nhận | CO.CQ |
| Số mô hình | LVC414 |
Bộ điều khiển hơi hóa lỏng LVC414 ASM LVC 414
| Thương hiệu / Nhà sản xuất | ASM / Hoa Kỳ |
| Một phần số |
LVC414 |
| Số phần thay thế |
LVC414 |
| Sự miêu tả | Bộ điều khiển hơi hóa lỏng |
| Kích thước | 6,3cm x 11,4 cm x 15,0 cm |
| Cân nặng | 0,55kg |
Thông tin chi tiết sản phẩm
Bộ điều khiển Vaporizer điện tử LVC-414 đã được thiết kế để đo lường và kiểm soát chính xác
tốc độ dòng chảy khối lượng (gam / phút) của vật liệu pha tạp bằng cách thay đổi lưu lượng khí mang qua
bọt khí chứa vật liệu nguồn.
Source materials include SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 and BBr3. Nguồn nguyên liệu bao gồm SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 và BBr3. Other doping material can Vật liệu doping khác có thể
cũng được kiểm soát, miễn là chúng bay hơi với nồng độ thích hợp cho chính xác
ratiodetection. diệt chuột. Carrier gases include H2, He, N2, O2 and Ar. Khí mang bao gồm H2, He, N2, O2 và Ar.
Ba đầu ra được cung cấp:
Nguồn (0 đến + 5VDC).
Nhà cung cấp dịch vụ (0 đến + 5VDC)
Tỷ lệ (0 đến + 5VDC).
Những đầu ra này có thể được theo dõi với bất kỳ vôn kế DC 5 volt với độ nhạy 1000
ohms/volt or more. ohms / volt trở lên. A built-in valve varies the carrier mass flow rate to control the source Một van tích hợp thay đổi tốc độ dòng khối mang để kiểm soát nguồn
gram/min. gam / phút selected by an external control voltage. được chọn bởi một điện áp điều khiển bên ngoài.
Một gói nhỏ chứa phần lưu lượng kế, bộ dò tỷ lệ, van điều khiển và
thiết bị điện tử
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
DÒNG CHẢY KHÍ TỐI THIỂU: 5% tối đa
MAXIMUM SOURCE FLOW: Up to 40 grams/min. LƯU LƯỢNG NGUỒN TỐI ĐA: Tối đa 40 gram / phút. full scale quy mô đầy đủ
KHAI THÁC ÁP LỰC ÁP LỰC: vi sai 10-40 psi
ÁP LỰC TỐI THIỂU: 60 psig
KHAI THÁC NHIỆT ĐỘ KHÍ VÀ KHÍ NÉN: 60-90 ° F (15-35 ° C) lên đến 43 ° C theo yêu cầu đặc biệt
TRẢ LỜI: 10 giây trong vòng 4% điểm đặt
KHÍ CARRIER: Hydrogen, Helium, Nitơ, Oxy hoặc Argon, Khí hỗn hợp
REPEATABILITY: ± 0,5% toàn thang đo
CẢM ỨNG ÁP LỰC: ± 0,25% toàn thang đo cho áp suất từ 10 đến 40 psid
CHÍNH XÁC VÀ TUYẾN TÍNH: ± 4.0% toàn bộ quy mô trên toàn bộ phạm vi hoạt động
THIẾT LẬP QUY TẮC: 0,1 đến 5 vdc
CHỈ ĐỊNH ĐẦU RA:
1. NGUỒN: 0,1-5 vdc tỷ lệ tuyến tính với tốc độ dòng chảy của chất lỏng hóa hơi
2. CARRIER: 0,1-5 vdc tỷ lệ tuyến tính với tốc độ dòng chảy của khí mang
3. RATIO: 0,1-5 vdc tỷ lệ tuyến tính với tỷ lệ lưu lượng hơi (SCCM) với lưu lượng sóng mang
(SCCM) được chia tỷ lệ với 5 vdc = 50%
TÁC ĐỘNG ĐẦU RA: tối đa 10 ohms
RIPPLE: tối đa 50 mv pp
Nhiều sản phẩm hơn
| GE | DS200PCCAG5ACB | NHÂN VIÊN | KJ1611X1-EF1 |
| GE | DS200RTBAG3AEB | NHÂN VIÊN | KJ1700X1-BA1 |
| GE | DS200SBCBG1ADC | NHÂN VIÊN | KJ1710X1-BA1 |
| GE | DS200SVAAG1A | NHÂN VIÊN | KJ1740X1-BA1 |
| GE | DS3800HIOA1C1E | NHÂN VIÊN | KJ2001X1-BA1 |
| GE | DS3800NDAC1D1E | NHÂN VIÊN | KJ2002X1-BA1 |
| HMS | M00279 3266-140 | FOXBORO | FBM223 |
| HMS | ABC-PDP AB7000-B | FOXBORO | FBM231 |
| HMS | AB7000-C | FOXBORO | FBM242 |
| IAI | DS-S-C1-L DSSC1LDS | FOXBORO | FCM10E |
| IAI | PDR-I-200L-2 | FOXBORO | P0903CW |
Liên hệ chúng tôi
miya@mvme.cn(Nhấp chuột)
Email: miya@mvme.cn
QQ: 2851195450
Điện thoại: 86-18020776792
Skype: miyazheng52
Liên lạc chúng tôi bất cứ lúc nào
